历史由来和发展进程
SECS/GEM(Semiconductor Equipment Communication Standard / Generic Equipment Model)的历史由来和发展进程可以追溯到上世纪80年代初,当时半导体制造行业对设备间通信标准化的需求逐渐增加。Semiconductor 英/ˌsemi…
什么是SECS/GEM?
SECS(SEMI Equipment Communication Standard)半导体设备通讯标准,用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。由SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International 国际半导体设备与…